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潔凈室的建造特點

[2011-10-13]
一、建造投資費用高

高級別潔凈室的建造費用很高,一般來說,100級垂直單向流的潔凈室,其室內裝修(墻、頂、地、門、窗等)和空調凈化系統(包括制冷空調設備和管道配件、凈化設備和配件等)的初投資大約為10000元人民幣/m2;如果加上純水制備設備和系統管道,純氣發生和系統管道,廢水治理設備和管道,消防系統,供配電和自控系統,真空清掃系統等等,其單位面積的建造投資費用要高達25000~30000元人民幣/ m2

就拿已投產的上海華虹NEC超大規模集成電路芯片生產線潔凈室舉例來說,華虹NEC為月投片30000片8"硅片集成電路前工序生產線,有潔凈室面積約12000m2,其中10000 m2是在中心部位,另2000 m2在邊跨上。在中心部位的10000 m2潔凈室中有4000 m2的1級、10級和100級的垂直單向流潔凈室,另外6000 m2分別為1000級和10000級的非單向流潔凈室,總送風量約6,400,000 m3/h。于1998年底建成投產。

該項目總投資約100億人民幣,其中動力設備和土建投資為20億人民幣,占總投資的五分之一。單核心部分的10000 m2的潔凈室的建造費用就高達6000萬美元(約5億人民幣)(日本三機株式會社施工),折合每平方米建造費用約50000元人民幣/ m2

二、運行管理費用大

因為高級別潔凈室凈化風量大,新風量也大,溫濕度要求嚴格,所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大,耗電多,運行費用貴。

還拿上述華虹NEC為例,其核心部分10000 m2潔凈室總的送風量為6,400,000 m3/h,輸送凈化空氣的風機耗電量為3840 Kw/h,全年電費為1659萬元(每度電按0.6元/設計),空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h,全年電費為6000萬人民幣。全年空調凈化系統本身的運行費用就高達7659萬元人民幣。折合每年單位面積的運行費用為7659元/m2年。

三、靈活適應性強

因為,科學技術的發展很快,高科技的產品不斷出現,尤其是電子工業的發展更是日新月異,像集成電路的發展2~3年就更新一代,TFT-LCD的發展速度更快1~2年就上一個臺階。這就要求中央空調工程中的高級別的潔凈室必須能適應其發展速度,有極好的靈活性和適應性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計,不是一、二年就會拆掉重建。因此,在設計和建造潔凈廠房時,就要考慮到工藝的發展、變更,就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應性。從一個潔凈廠房的靈活適應角度,可將其分為三個層次;

第一是不可變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎、梁、柱等結構部分;
第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等;
第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。

四、安全、可靠性好

從前面(一)、(二)兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價。但是為了生產出高可靠、高質量的高科技產品也必須具備這樣的生產環境。因為,建造潔凈室的目的是為使用,是為了得到高成品率合格產品。為了達此目的,設計和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風速、壓力等所有參數必須滿足生產工藝的要求,保證安全、可靠、不出事故。這一點絕不能馬虎,更不能打折扣,要萬無一失,只有這樣才能有效益,才能達到建造潔凈室的目的。

責任編輯:佳冷官網
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