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潔凈室術語

[2012-06-11]
2.0.1潔凈室(區) clean room(zone) 空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數和溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。 2.0.2懸浮粒子 airborne particles 用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm~5μm的固體和液體粒子。 1 粒徑miacropartical size 由給定的粒子尺寸測定儀回應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。 2 超微粒子 ultrafine particle 當量直徑<0.1μm的粒子。 3 宏粒子 micro particle 當量直徑>0.5μm的粒子。 4 粒徑分布particle size distribution 粒子粒徑頻率分布和累積分布,是粒徑的函數。 5 含塵濃度particle concentration 單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。 2.0.3潔凈度cleanliness 以單位體積空氣中某粒子的數量來區分的潔凈程度。 2.0.4占用狀態occupancy states 1 空態as-built 設施已經建成,所有動力接通并運行,但無生產設備、材料及人員。 2 靜態at-rest 設施已經建成,生產設備已經安裝,按業主及供應商商定的狀態運行,但無生產人員。 3 動態operational 設施以規定的狀態運行,有規定的人員在場,并在商定的狀態下進行工作。 2.0.5氣流流型air pattern 室內空氣的流動形態和分布。 2.0.6單向流unidirectional airflow 沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。 2.0.7非單向流 non-unidirectional airflow 不符合單向流定義的氣流。 2.0.8混合流mixed airflow 單向流和非單向流組合的氣流。 2.0.9潔凈工作區clean working area 指潔凈室內離地面高度0.8-1.5m(除工藝特殊要求外)的區域。 2.0.10空氣吹淋室 airshower 利用潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。 2.0.11氣閘室 airlock 設置在潔凈室出入口,為阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。 2.0.12傳遞窗 passbox 在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側窗扇的開啟應進行聯鎖控制。 2.0.14高效空氣過濾器HEPA(high efficiency particulate air filter) 在額定風量下,對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。 2.0.15風機過濾器機組(FFU)Fan Filter Unit 由高效空氣過濾器(HEPA)或超高效空氣過濾器(ULPA)與風機組合在一起,構成自身可提供動力的末端空氣凈化裝置。 2.0.16過濾器安裝后檢漏 installed filter leakage test 檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等沒有缺陷和泄漏。 2.0.17漏風量 air system leakage ratio 風管系統中,在某一靜壓下通過風管,附件及其接口,單位時間內泄漏或滲入的空氣體積量。 2.0.18漏光檢測 air leak cheek with lighting 采用強光源對風管的咬口、接縫、法蘭及其連接處進行透光檢查,確定孔洞、縫隙等滲漏部位及數量的方法。 2.0.19自凈時間 cleanliness recovery characteristic 潔凈室被污染后,凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。 2.0.20純水 purify water 雜質含量很少的水,其電解質雜質含量(常以電阻率表征)和非電解質雜質(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。 2.0.21常用氣體 Bulk gas 指電子產品生產過程中廣泛使用的氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等氣體。 2.0.22特種氣體special gas 指電子產品生產過程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。 2.0.23化學品chemical 指電子產品生產過程中使用的酸、堿、有機溶劑、有機物質和氧化物等。 2.0.24配管piping 潔凈廠房中,用以輸送、分配工藝用水、純水、各類氣體、化學品等的管路系統的管子、附件、管件、法蘭、螺栓連接件、墊片、閥門和其他組成件的組裝總成。 2.0.25熱彎 hot bending 溫度高于金屬臨界點AC1時的彎管作業。 2.0.26冷彎cold bending 溫度低于金屬臨界點AC1時的彎管作業。 2.0.27射線照相檢數 radiographic examination 對指定的一批配管的全部環向對接焊縫所作的全圓周射線檢驗和對縱焊縫所作的全長度射線檢驗。 2.0.28抽樣射線照相檢驗 random radiographic examination 在一批指定的配管中,對規定的百分比的環向對接焊縫所作的全圓周的射線檢驗。
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